En la técnica ICP-OES, las muestras se introducen en disolución mediante un sistema de nebulización. Una vez en el plasma, las muestras se desolvatan, vaporización, atomizan, ionizan y excitan.
Los átomos e iones excitados emiten radiación en las zonas ultravioleta y/o visible, a longitudes de onda características de cada elemento.
Las longitudes de onda de emisión permiten obtener información cualitativa, mientras que la intensidad de radiación a dichas longitudes de onda permite obtener información cuantitativa de los distintos elementos.

Debido al uso de detectores de estado sólido, la técnica permite obtener información multielemental simultánea de todos los elementos determinados.

En la técnica ICP-MS, las muestras se introducen habitualmente en disolución mediante un sistema de nebulización. Una vez en el plasma, las muestras se desolvatan, vaporización, atomizan e ionizan.
Los iones positivos se separan en función de su relación masa/carga en un analizador de cuadrupolo, siendo contados por un detector de dínodos.
Las relaciones masa/carga permiten obtener información cualitativa, mientras que los iones contados a las distintas relaciones masa/carga permiten obtener información cuantitativa de los elementos.

Combinando esta información para los distintos isótopos de un elemento se puede obtener información isotópica, así como realizar análisis por dilución isotópica..