Cañón de emisión de electrones por emisión de campo de punta caliente
Permite observaciones de hasta 0.8nm de resolución espacial
Voltajes de aceleración entre 0.02 y 30 kV
Detectores de electrones secundarios y retrodispersados en la cámara y en la columna (in-lens)
Detector EDS para análisis de la energía de los rayos X dispersados X-Max (20mm2) con SSD (Silicon Drift Detector) de Oxford Instruments y resolución en energía por debajo de 123eV a 5.9 KeV del Mn Ka.
Detector HKL EBSD (Electron Back Scatter Diffraction), Nordlys II, para el registro y análisis de diagramas de difracción de electrones retrodispersados y mapas de orientación cristalográfica. Procesamiento de los mismos con CHANNEL5 o AZtec.
Detector STEM
Detector de cátodoluminiscencia SIGMA de Zeiss
Modo "Ojo de pez", que permite tener una imagen en el interior de la cámara
Sistema de control de vacío "Modo silencio" que desconecta la rotatoria periódicamente con el propósito de ahorrar energía y reducir ruido en el laboratorio
Sistema de compensación de carga por inyección de nitrógeno. Este sistema permite la observación de muestras aislantes sin recubrir utilizando detectores de electrones de alto vacío
Sistema de limpieza por plasma (“plasma cleaning”), Evactron 25/45 de XEI Scientific, Inc.
Software SmartSEM, AZtec, INCA y Channel5
Software ESPRIT DynamicS para simulación de patrones EBSD de alta resolución
Control ambiental de sala y sesiones remotas en FESEM (medidas COVID-19)
Detector CO2 de Honeywell, pantalla protectora de metacrilato entre usuario y técnico, posibilidad de realizar sesiones remotas, videollamada...
Microscopio electrónico de barrido (SEM) JEOL JSM 6400
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